ELFT HÍRADÓ

[Szeminárium koordinátor <szfi-seminar AT wigner.mta.hu>]

SZFI Szeminárium
Derzsi Aranka
(Wigner FK SZFI)
Rádiófrekvenciás gerjesztésű gázkisülések részecske-alapú szimulációja és 
kísérleti vizsgálata
A rádiófrekvenciás gerjesztésű gázkisülések sokoldalúan használható 
eszközként vannak jelen a félvezetőipartól kezdve a biomedikáig: plazma-alapú 
technológiára épül az integrált áramkörök gyártása (plazma-alapú maratás), a 
napelemek előállítása (plazma-alapú rétegleválasztás), orvosi implantátumok 
kezelése (plazma-alapú felületkezelés) stb. Ezek az alkalmazások a 
gázkisülési plazma részecskéinek a felülettel való kölcsönhatásán alapulnak. 
Kutatásukat a plazmában lejátszódó komplex fizikai jelenségek megértése 
mellett erősen motiválják a különböző alkalmazások, amelyek szempontjából 
fontos a plazmajellemzők és a külső kontroll-paraméterek közötti 
összefüggések feltárása. Ebben segítenek a számítógépes szimulációk. Az 
utóbbi néhány évben számos munka mutatott rá a felületi folyamatok 
realisztikus leírásának fontosságára a gázkisülési plazmák szimulációja 
során. Az előadásban szó lesz alacsony nyomású, rádiófrekvenciás gázkisülések 
Particle-in-Cell/Monte Carlo Collisions (PIC/MCC) szimulációs módszerrel való 
vizsgálatáról, a különböző felületi folyamatok hatásáról a plazmajellemzőkre, 
valamint ezen rendszerek kísérleti vizsgálatáról, a szimulációkhoz szükséges 
paraméterek kísérleti meghatározásáról.2020. október 13. kedd, 10.00
videokonferencia, https://letsmeet.wigner.hu/szeminarium
Az előadás nyelve: magyar
Minden érdeklődőt szívesen látunk!
Juhász Róbertszfi-seminar AT wigner.mta.hu