ELFT HÍRADÓ

[Szommer Peter <szpl AT metal.elte.hu>]

ELTE Fizikai Intézet

                               ORTVAY KOLLOKVIUM
                                
                    2010. december 16., csütörtök, 15 órakor
  Az ELTE Pázmány Péter s. 1/A alatti épületében a földszinti 0.81 előadóban
  
	   Lendvai János (ELTE, Fizikai Intézet, Anyagfizikai Tanszék)
                          "Mikro- és nanomechanika,
                  avagy mire is lehet használni a SEM/FIB-et"
		  
Kivonatos ismertetés:
A mikro- és nanomechanika mikrométernél kisebb objektumok tervezésével, 
előállításával és mechanikai viselkedésével foglalkozó ága a nanotudományoknak.
Az ilyen objektumok számos érdekes sajátsággal rendelkeznek. A hagyományos 
mikromechanikai megmunkálási eljárások kiegészülnek pl. a félvezetőiparban az 
elmúlt évtizedekben kifejlesztett technikákkal. Közismert, hogy a szubmikronos
mérettartományba lépve a rendszert jellemző fizikai tulajdonságok másképp 
skáláznak, mint a makroszkópikus tartományban. Amikor a vizsgált rendszer 
mérete túl kicsi ahhoz, hogy rá a kontinuum-leírás alkalmazható legyen, akkor
a mechanikai tulajdonságok esetében a méretfüggéssel együtt az alakváltozási
folyamat tér- és időbeli heterogenitása is szembeszökővé válik. A jelenségek 
leírására a klasszikus mechanika, szilárdtest-fizika, statisztikus fizika és 
anyagtudomány eredményeit felhasználó modellekkel és általában igen nagy 
számításigényű szimulációkkal történnek próbálkozások. Ugyanakkor a szubmikronos
szerkezetek mechanikai tulajdonságainak és alakváltozási folyamatainak 
vizsgálata kísérleti szempontból is rendkívül nehéz, gondoljunk akár a 
próbatestek kimunkálására, befogására, vagy pl. az erőmérés hitelesítésére. 
Az előadás ezekbe a jelenségekbe igyekszik bepillantást nyújtani, bemutatva azt
is, hogy milyen lehetőségeink és terveink vannak ezen a területen a nemrég 
üzembe helyezett SEM/FIB (ionsugaras megmunkáló egységgel is rendelkező 
pásztázó elektronmikroszkóp), valamint a nanoindenter felhasználásával.