ELFT HÍRADÓ

[Gyorgy KADAR <kadargy AT mfa.kfki.hu>]

                            MFA Szeminárium

                     RAJTA István (ATOMKI):

                        3D mikromegmunkálás protonnyalábbal

          2003. április 9.-én, szerdán, de. 10:00 órakor az             
        MTA Mûszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet
          Tanácstermében, KFKI 26. épület I. emelet

        Minden érdeklõdõt szívesen várunk

                                  Kádár György (MFA)
                                
kadargy AT sunserv.kfki.hu
Absztrakt
---------
A protonnyalábos mikromegmunkálás (Proton Beam Micromachining, PBM) a 
többi mikromegmunkálási technológia (optikai litográfia, UV litográfia, 
e-beam írás, lézeres mikromegmunkálás, stb.) kiegészítôje, azoktól 
eltérô tulajdonságokkal rendelkezik, így bizonyos feladatok elvégzésére 
ez a legalkalmasabb módszer, illetve vannak olyan alkalmazások, amelyek 
más mikromegmunkálási módszerekkel egyáltalán nem, vagy csak sokkal 
költségesebb módon oldhatók meg. A protonnyalábos mikromegmunkálás az 
egyetlen olyan mikromegmunkálási technológia, amely képes magas 
(high-aspect-ratio) 3 dimenziós struktúrákat gyors maszknélküli (direkt 
írásos) módon mikronos vagy az alatti méretben elôállítani.

A következô területeken várható a közeljövôben jelentôs felhasználás:
mikrofotonika (microphotonics), mikrofolyadéktan (microfluidics),
szövettenyészeti táptalajok (tissue engineering substrates), mikrolabor
(lab-on-a-chip technology). A módszer különösen alkalmas 3 dimenziós 
bélyegzôk és negatívok készítésére lágylitográfiás polimerekhez.

Hazai megvalósítás: Atomki, Debrecen, Van de Graaff gyorsító
                    Pásztázó Proton Mikroszonda
Elsô kísérleti eredmények, tapasztalatok.